【摘 要】
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本文叙述了采用两温区水平炉由铟、砷和磷三种元素直接合成并采用熔区法生长磷砷化铟固溶体的设备及其主要工艺;给出了材料的主要性能数据;简单介绍了作者对铸锭与石英舟的粘
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本文叙述了采用两温区水平炉由铟、砷和磷三种元素直接合成并采用熔区法生长磷砷化铟固溶体的设备及其主要工艺;给出了材料的主要性能数据;简单介绍了作者对铸锭与石英舟的粘结,磷和砷的蒸气压控制,保证充分合成和克服组份分凝的方法以及单晶生长速度等问题的看法。
This paper describes the equipment and its main processes for the direct synthesis of indium, arsenic and phosphorus from a two-zone horizontal furnace and the growth of an indium phosphide solution using a melt zone method. The main performance data of the furnace are given. The author of the ingot and quartz boat bonding, phosphorus and arsenic vapor pressure control, to ensure the full synthesis and to overcome the composition of the method of condensation and single crystal growth rate and other issues of view.
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