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微电机形成专业化的生产体系，大约经历了半个多世纪。它已从传统电机模式发展成为多学科互相渗透的机电一体化产品。随着基础研究的深化和新工艺、新材料的出现，越来越多的新型微电机被开发出来并逐步进入实用化，从而……
微电机市场及技术动向
【摘 要】
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微电机形成专业化的生产体系，大约经历了半个多世纪。它已从传统电机模式发展成为多学科互相渗透的机电一体化产品。随着基础研究的深化和新工艺、新材料的出现，越来越多的新型
【出 处】
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电气时代
【发表日期】
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2002年6期
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