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【摘 要】
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Dear editor,rnWhen the technology node scales down to 14 nm,the back-end-of-line (BEOL) in IC design faces the more serious chal-lenges[1,2].The high-density integration induced by the technology innovation increases the number of interconnect-ing layers
【机 构】
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Institute of Microelectronics,Peking University,Beijing 100871,China
【出 处】
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中国科学：信息科学（英文版）
【发表日期】
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2021年11期
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