【摘 要】
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提出了一种高精度测量电子束曝光机束流的新方法。并给出测量电路，该电路在未加屏蔽的情况下，可达９０ｄＢ的共模抑制比。
A new method to measure beam current of electron beam ex
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提出了一种高精度测量电子束曝光机束流的新方法。并给出测量电路，该电路在未加屏蔽的情况下，可达９０ｄＢ的共模抑制比。
A new method to measure beam current of electron beam exposure machine with high precision is proposed. And given the measurement circuit, the circuit without shielding case, up to 90dB common mode rejection ratio.
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