基于双圆柱增敏结构的热丝式MEMS矢量水听器研制

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针对热丝式MEMS质点振速传感器应用到水下时,其灵敏度严重衰减的问题,提出了一种双圆柱增敏结构,通过流体仿真分析,优化了增敏结构设计,并设计了一种水下应用的封装结构。在空气半消声室及矢量水听器水下驻波场校准装置中的测试表明,其在20~2000Hz频段内,增敏结构对声波信号放大约10dB,研制的矢量水听器工作频段为20~800Hz,灵敏度达到-199dB。
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