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针对高频反射面天线中对其表面精度要求高的问题，提出了基于三坐标测量机的副反射面测量方案。通过理论分析给出了副反射面测量过程中三坐标测量机的采点方案，将曲面测量转化为曲线测量；讨论了测量数据处理中测头半径补偿和曲线匹配等关键问题，消除了系统误差的影响，提高了测量精度；得到了被测副反射面的表面精度，并用图形表示出来。理论和实验表明该测量方案的有效性。