【摘 要】
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微系统是融合微电子、微光子、MEMS、架构和算法五大基础要素,采用系统设计的思想和方法,将传感、通信、处理、执行和微能源等五大功能单元,通过以微纳制造及工艺为基础的系
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微系统是融合微电子、微光子、MEMS、架构和算法五大基础要素,采用系统设计的思想和方法,将传感、通信、处理、执行和微能源等五大功能单元,通过以微纳制造及工艺为基础的系统级封装集成在一起的具有多种功能的微装置。微系统是微电子技术和系统技术发展到新历史阶段的必然结果,也是应用创新与技术创新融合发展的典范。微系统概念自上世纪九十年代出现以来,就以其强大的生命力强力推动专业整合和产业融合,被公认为21世纪的革命性技术之一,已经并将越来越显著地改变甚至颠覆人类社会生活方式。
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