【摘 要】
：
为提升硅衬底氮化镓基LED(发光二极管)器件的光电性能和出光效率,本文提出了一种利用背后工艺实现的悬空薄膜蓝光LED器件。结合光刻工艺、深反应离子刻蚀和电感耦合等离子体
【基金项目】
：
中国博士后基金(No.2018M640508),江苏省高校自然科学基金(No.18KJB510025),南京邮电大学1311人才计划,南京邮电大学国自孵化基金(No.NY218013)
论文部分内容阅读
为提升硅衬底氮化镓基LED(发光二极管)器件的光电性能和出光效率,本文提出了一种利用背后工艺实现的悬空薄膜蓝光LED器件。结合光刻工艺、深反应离子刻蚀和电感耦合等离子体反应离子刻蚀的背后工艺,制备了发光区域和大部分正负电极区域的硅衬底完全掏空,并减薄大部分氮化镓外延层的悬空薄膜LED器件。对悬空薄膜LED器件进行三维形貌表征,发现LED悬空薄膜表面平坦,变形程度小,证明背后工艺很好地解决了氮化镓外延层和硅衬底之间由于应力释放造成的薄膜变形问题。表征了LED器件的电流电压曲线和电致发光光谱等光电特性,对不同
其他文献
现在医疗卫生体制在不断改革,各大医院也针对自己的基础设施进行进一步的优化,这不仅是为了满足人民日益增长的医疗需求,也是为了给患者提供更为舒适的就医环境。因此可以说
担当责任,为高质量发展筑好“引水渠”。2020年,特别是疫情爆发后,中国银行内蒙古分行及时开辟绿色通道,累计为297户小微企业发放投信4.72亿元;通过无还本续贷、利事优惠等措
本文提出了一种纳流通道-谐振腔耦合结构,用于实现对荧光物质微位移的检测。在本文中,首先,使用时域有限差分法,研究了量子点偏振态及结构参数对荧光与结构耦合效果的影响,进
卤化铅钙钛矿(LHPs)由于具有优异的光电性能和制备成本低等优点,已成为新一代光电器件的有力候选材料。然而,缺陷造成的离子迁移会导致LHPs纳米晶的晶体结构解离分解。因此,
伴随医疗体系日益改革深化,各个种类的医院要求更加主动地开展管理制度完善。内部控制角度下,内部控制在公立医院财务管理中获得有效应用,同样可以推动财务内部控制实际效果
量子点发光二极管(QLEDs)由于具有独特的光电特性,可应用于照明和显示行业,其外量子效率(EQEs)正迅速接近商业化要求。然而,器件的稳定性和工作寿命仍然是QLEDs商业化应用面
1月8日,2021年全区人民银行工作电视会议暨外汇管理工作电视会议在呼和浩特召开。会议深入贯彻党的十九届五中全会和中央经济工作会议精神,传达落实总行、总局2021年工作会议