GaAs与玻璃窗口热压粘接工艺设计

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第三代微光像增强器的性能指标大大优于第二代微光像增强器 ,是由于它采用了具有负电子亲和势的 Ga As光电阴极 ,因此制备优良的 Ga As光电阴极就成为研制第三代微光像增强器的关键课题之一。本文着重讨论如何实现 Ga As与玻璃窗口的低应力匹配热压粘接技术。1 粘接机理Ga As? The third generation of micro-image intensifier performance is much better than the second generation of micro-image intensifier, because it uses a negative electron affinity Ga As photocathode, so the preparation of good Ga As photocathode becomes Development of the third generation of light intensifier one of the key issues. This article focuses on how to achieve GaAs and glass windows low stress matching hot bonding technology. 1 bonding mechanism Ga As?
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