【摘 要】
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位于美国加利福尼亚州圣克拉腊的Lam研究公司,提供一种AutEtch480型等离子腐蚀系统。这种系统采用一种Recipe牌程控设备,自动地送入全部工艺参数,包
Lam Research, located
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位于美国加利福尼亚州圣克拉腊的Lam研究公司,提供一种AutEtch480型等离子腐蚀系统。这种系统采用一种Recipe牌程控设备,自动地送入全部工艺参数,包
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