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【摘 要】
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采用基区及发射区自对准和空气桥技术,降低了SiGe异质结晶体管器件的基极电阻及集电极和基极之间的结电容,提高了SiGe异质结晶体管器件的最高振荡频率fmax.以分子束外延SiGe
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所,西安电子科技大学微电子研究所,国家模拟集成电路重点实验室,国家模拟集成电路重点实验室,国家模拟集成电路重点实验室,国家模拟集成电路重点实验室,国家模拟集成电路重点实验室,
【出 处】
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西安电子科技大学学报
【发表日期】
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2005年03期
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