【摘 要】
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电弧法制备(Ti-Al)N膜作者研究了电弧等离子体参数对沉积化合物(Ti-Al)N膜的影响。使用不同种类的阴极和材料成份作为(Ti-Al)N涂层沉积的蒸气源。讨论了电弧工艺参数对沉积涂层的表面形态、粘结性能、
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电弧法制备(Ti-Al)N膜作者研究了电弧等离子体参数对沉积化合物(Ti-Al)N膜的影响。使用不同种类的阴极和材料成份作为(Ti-Al)N涂层沉积的蒸气源。讨论了电弧工艺参数对沉积涂层的表面形态、粘结性能、显微结构及颜色的试验结果。用(Ti-Al)...
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