宽束大物面电磁复合系统的曲轴电子光学普遍理论

来源 :量子电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong573
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由于曲轴电子光学理论被广泛应用于电子和离子束曝光机、布线机、粒子迥旋加速器,质谱仪、能谱仪、光电成象器件等许多领域,所以长期以来一直受到人们的广泛重视和关注。多年来发表了许多文章,提出了 Crankshaft electron optical theory has long been widely regarded and focused by people because it is widely used in many fields such as electron and ion beam lithography machines, wiring machines, particle accelerators, mass spectrometers, spectrometers, and optoelectronic imaging devices . Many articles have been published over the years
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