【摘 要】
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采用固相反应烧结法制备了ZrO2掺杂的Ba（Zn1/3Ta2/3）O3微波介质陶瓷,研究了陶瓷的烧结特性和介电性能。结果表明,ZrO2掺杂能有效降低Ba（Zn1/3Ta2/3）O3陶瓷的烧结温度,改善陶瓷的
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
【基金项目】
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四川省青年基金资助项目（JS0303001）
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采用固相反应烧结法制备了ZrO2掺杂的Ba（Zn1/3Ta2/3）O3微波介质陶瓷,研究了陶瓷的烧结特性和介电性能。结果表明,ZrO2掺杂能有效降低Ba（Zn1/3Ta2/3）O3陶瓷的烧结温度,改善陶瓷的微波介电性能。当x（ZrO2）=4%时,Ba（Zn1/3Ta2/3）O3陶瓷致密化烧结温度由纯相时的1 600℃降至1 300℃,同时陶瓷材料的微波介电性能达到最佳值,即介电常数εr=34.79,品质因数与频率的乘积Q×f=148 000（8GHz）,谐振频率温度系数τf=0.3×1
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