【摘 要】
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介绍 0 .35μm分步重复投影光刻物镜的设计要点 ,包括数值孔径、结构型式的确定、材料的选择。介绍了光刻物镜设计的难点、创新点及设计结果。
This paper introduces the d
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所!成都610209,中国科学院光电技术研究所!成都610209
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介绍 0 .35μm分步重复投影光刻物镜的设计要点 ,包括数值孔径、结构型式的确定、材料的选择。介绍了光刻物镜设计的难点、创新点及设计结果。
This paper introduces the design essentials of 0.35μm step-and-repeat projection lithography objective, including the numerical aperture, the determination of structure type and the material selection. The difficulties, innovations and design results of lithography lens design are introduced.
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