【摘 要】
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Trilemma效应是偏转系统实现自会聚的一个重要判据,对高级偏转象差的校正,需要考虑高阶Trilemma效应的影响,本文从多极场偏转象差校正理论出发,应用区域分割的方法,对直至七
【机 构】
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东南大学电子所,东南大学电子所,东南大学电子所,东南大学电子所 南京 210096,南京 210096,南京 210096,南京 210096
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Trilemma效应是偏转系统实现自会聚的一个重要判据,对高级偏转象差的校正,需要考虑高阶Trilemma效应的影响,本文从多极场偏转象差校正理论出发,应用区域分割的方法,对直至七阶的Trilemma效应进行了分析,给出了各阶Trilemma常数的表达式,其中七阶Trilemma常数可以作为大偏转角偏转象差校正的判据。
Trilemma effect is an important criterion for the deflection system to realize self-convergence. The correction of advanced deflection aberration needs to consider the influence of higher-order Trilemma effect. Based on the multi-polar field deflection aberration correction theory, The Trilemma effect up to the seventh order is analyzed, and the expressions of the Trilemma constants for each order are given. The seventh order Trilemma constants can be used as the criterion for correcting the deflection aberration of the large deflection angle.
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