斜角及旋转式离子注入技术

来源 :微电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zhoubear

【摘要】

：

灵活的硅片定向定位注入──先进的CMOS器件制造技术对离子注入技术发展的新要求。 Flexible Silicon Directed Positioning Injection - New Requirements for the Develop

【作者】

：

PieteyBurggraaf 张义强

【出处】

：

微电子技术

【发表日期】

：

1995年06期

【关键词】

：

离子注入技术器件制造阈值电压工艺路线非对称结构氧化层隔离工艺半导体设备开关晶体管设计规则

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灵活的硅片定向定位注入──先进的CMOS器件制造技术对离子注入技术发展的新要求。 Flexible Silicon Directed Positioning Injection - New Requirements for the Development of Ion Implantation Technology by Advanced CMOS Device Manufacturing Technology.

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