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提出三点式动态准直法，并以此设计具有自动校准功能的光腔自准直系统，提高了氧碘化学激光器的光束质量。该系统采用位置传感器作为光束位置检测元件，压电陶瓷作为动态调整元件，建立三输入三输出的耦合模型，利用多变量自适应闭环解耦控制法，实现准直系统的高速动态调整，实现了光腔准直，提高了光束质量。经初步实验验证，该系统准直范围可达4mrad．精度为5μrad，响应频率达20Hz，满足氧碘化学激光器对光腔准直系统的要求。