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来源 :铸锻热 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
使用六氯化二硅作为CVD(化学气相沉积)原料,可以低温气相合成SiC或Si_3N_4涂层。此外,在金属成合金气体渗硅时,使用Si_2Cl_6可比用Si_2Cl_4处理温度低50~300℃,可实现处理温
【作 者】
:
元岛栖二
陈赛克
【出 处】
:
铸锻热
【发表日期】
:
1989年01期
【关键词】
:
气体渗硅
Si_2Cl_6
六氯化二硅
渗剂
耐蚀性
比用
化学气相沉积
失重量
硅化物
无色透明液体
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