【摘 要】
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采用微机电系统(MEMS)工艺在硅片上制作锯齿形微通道,并对其内部流动和换热特性进行了实验研究,同时与相同高宽比和当量直径的平直微通道进行了对比,讨论了锯齿形硅微通道强
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采用微机电系统(MEMS)工艺在硅片上制作锯齿形微通道,并对其内部流动和换热特性进行了实验研究,同时与相同高宽比和当量直径的平直微通道进行了对比,讨论了锯齿形硅微通道强化换热的机理.研究表明:锯齿形微通道内流动摩擦常数fRe和换热努塞尔数Nu较平直微通道均有明显提高,且提高幅度随雷诺数Re增加而增加;相同泵功条件下锯齿形微通道换热热阻显著下降.
The microgrooves of zigzag are made on silicon by micro-electromechanical system (MEMS) process, and the internal flow and heat transfer characteristics of the microchannels are experimentally studied. At the same time, compared with the straight microchannels with the same aspect ratio and equivalent diameter, The mechanism of enhanced heat transfer of zigzag silicon microchannels is discussed.The results show that the flow friction constant fRe and the heat transfer Nusselt number in zigzag microchannels are obviously higher than those in straight microchannels, Increase and increase; under the same pump power conditions sawtooth microchannel heat transfer thermal resistance decreased significantly.
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