多弧离子镀硬质膜的抗空蚀性能研究

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利用磁致伸缩振动空蚀试验装置,研 究了灰口铸铁表面多弧离子镀TiN、CrN 及 (Ti,Cr)N硬质膜的抗空蚀性能.研究结果表明, 离子镀硬质膜的抗空蚀性能与铸铁基体的表面粗糙度、离子镀层的表面特征、镀膜过程中工 件负偏压及镀层厚度密切相关.采用屏蔽离子镀可以有效地减少膜层表面的微颗粒及微缺陷 ,从而改善材料的抗空蚀性能.当基片负偏压为300 V而膜厚为3 μm时,硬质膜的抗空蚀性 能最佳.
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