【摘 要】
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温度梯度法(TGT)生长蓝宝石晶体不可避免出现应力。为提高晶体的品质和加工质量需进行释放应力去色退火处理。使用现有“两步法”退火工艺,由于其退火温度低且速度慢,需要付
【机 构】
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南京理工宇龙新材料科技股份有限公司,元亮科技有限公司,江苏京晶光电科技有限公司,同济大学物理科学与工程学院
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温度梯度法(TGT)生长蓝宝石晶体不可避免出现应力。为提高晶体的品质和加工质量需进行释放应力去色退火处理。使用现有“两步法”退火工艺,由于其退火温度低且速度慢,需要付出较高的时间成本和退火工艺的成本。现提出了“一步法”退火工艺,即在1750~1800℃空气气氛中直接进行高温退火。蓝宝石晶棒经“一步法”退火处理后,其内部澄清透明,且晶片加工终检的翘曲度(warp)和弯曲度(bow)的不良率较未退火前分别降低了100%和70%。蓝宝石晶棒的高温退火处理效果明显,可在其他晶体材料中尝试推广。
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