【摘 要】
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真空系统是场发射枪透射电镜的重要组成部分。按照场发射枪透射电镜对真空提出的要求,规划了真空系统的构成,设计了抽真空的流程。采用真空泵并行抽气的工作方式,缩短真空抽
【机 构】
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北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室仪器科学与光电工程学院,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学信息与通信工程学院,北京航空航天大学微纳测控与低维物理教育部重点实验室物理
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真空系统是场发射枪透射电镜的重要组成部分。按照场发射枪透射电镜对真空提出的要求,规划了真空系统的构成,设计了抽真空的流程。采用真空泵并行抽气的工作方式,缩短真空抽气时间,提高真空泵的利用率。通过隔离阀的通断实现了真空泵抽气对象的切换,通过计算机程序控制PLC实现了真空的自动抽气。通过测试,能够达到预定的真空度要求。
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