【摘 要】
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混合集成薄膜滤波器的制造,通常采用多次溅射阻容膜工艺,或者在多靶溅射设备中进行多层溅射。 如果用钽基材料,则可采用一次溅射的新工艺,与常用的多次溅射工艺相比较,如图1
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混合集成薄膜滤波器的制造,通常采用多次溅射阻容膜工艺,或者在多靶溅射设备中进行多层溅射。 如果用钽基材料,则可采用一次溅射的新工艺,与常用的多次溅射工艺相比较,如图1所示。
Hybrid integrated thin-film filters are manufactured using multiple sputter-resistance-capacitance-film processes or multi-layer sputtering in multi-target sputtering equipment. If the tantalum-based material, you can use a new sputtering process, compared with the commonly used multiple sputtering process, as shown in Figure 1.
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