【摘 要】
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本设备主要用于金属材料表面改性(腐蚀性能和磨损性能等)的研究及半导体材料的离子注入。本设备由弗利曼离子源、90°分析磁铁(偏转半径为400cm)、等梯度加速管、二单元四极
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本设备主要用于金属材料表面改性(腐蚀性能和磨损性能等)的研究及半导体材料的离子注入。本设备由弗利曼离子源、90°分析磁铁(偏转半径为400cm)、等梯度加速管、二单元四极透镜聚焦系统、X和Y静电扫描系统和靶室六部分组成。它是先分
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