ZnS基底沉积类金刚石薄膜研究

来源 :新技术新工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：terrychou

【摘要】

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针对不能直接在红外光学材料ZnS基底上沉积类金钢石薄膜（下述简称DLC膜）的问题,介绍了在红外光学材料ZnS基底上沉积DLC膜的方法,指出了采用在ZnS基底表面镀制DLC膜的方法,来解

【作者】

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黄光伟谢启明李向东白杨

【机构】

：

云南北方驰宏光电有限公司,中国兵器工业新技术推广研究所

【出处】

：

新技术新工艺

【发表日期】

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2014年6期

【关键词】

：

类金刚石薄膜红外光学硫化锌反射率 diamond like carbon film infrared optics ZnS reflectance

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针对不能直接在红外光学材料ZnS基底上沉积类金钢石薄膜（下述简称DLC膜）的问题,介绍了在红外光学材料ZnS基底上沉积DLC膜的方法,指出了采用在ZnS基底表面镀制DLC膜的方法,来解决在ZnS基底表面上镀制高效增透膜后,其膜层耐磨强度不足以抵抗恶劣环境的缺点;同时,通过膜系优化设计,利用镀制组合膜层的方法来降低其单面反射率,可改善光学系统的成像质量.

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