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以0．3m01／L草酸为电解液，在40v直流电压、0-5℃下采用二步阳极氧化法制备了纳米多孔阳极氧化铝模板。用射频磁控溅射法在阳极氧化铝模板表面制备了金属铝膜。SEM分析结果表明：金属膜复制了阳极氧化铝模板形貌，具有纳米孔有序阵列结构：金属膜的孔径受控于溅射功率和时间，功率30W下沉积10min约为68nm，32W下10min约为58nm，32W下15min约为25nm。