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针对机器磨损状态监测要求，设计了一种油液磨粒在线监测静电传感器，并给出了静电传感器的结构模型。采用有限元法对传感器静电场进行数值求解，得到了传感器的灵敏度空间分布，并对影响传感器灵敏度的主要因素进行了仿真研究，对静电传感器的频率响应特性进行了分析。在此基础上，提出了油液磨粒在线监测静电传感器结构尺寸优化设计方法。最后，构建了油液磨粒静电监测实验系统，进行磨损监测实验研究。实验结果表明，静电传感器可有效监测到荷电颗粒物和油液磨粒，本系统适用于油液磨粒在线监测。