【摘 要】
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微电子机械系统(MEMS)皮拉尼真空计可广泛用于芯片封装和设备测试等领域.量程是MEMS皮拉尼真空计的重要性能指标之一.设计了一种复合式MEMS皮拉尼真空计,通过将具有不同测量
【机 构】
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中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心,北京100029;中国科学院大学,北京 100049;无锡物联网创新中心有限公司,江苏无锡214135
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微电子机械系统(MEMS)皮拉尼真空计可广泛用于芯片封装和设备测试等领域.量程是MEMS皮拉尼真空计的重要性能指标之一.设计了一种复合式MEMS皮拉尼真空计,通过将具有不同测量范围的两款器件串联复合在同一芯片上,实现量程的扩展.以二极管型皮拉尼真空计为例设计了器件结构,优化了尺寸参数,并给出了兼容CMOS工艺的制造方案.最后通过COMSOL仿真,获得器件气压测量范围可达2.5×10-3?1.15×106 Pa,同时平均灵敏度达到132 mV/dec.相比于现有的单一型和组合式器件,设计的复合式MEMS皮拉尼真空计可以在小尺寸情况下具有更大的量程兼更高的灵敏度.
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