【摘 要】
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在Ｔｉ和Ｔｉ合金表面镀上一层薄膜以提高它的硬度、耐磨性及耐蚀性等是很有意义的。研究了用激光化学汽相沉积的方法在Ｔｉ和Ｔｉ－６Ａｌ－４Ｖ基体材料上沉积ＴｉＮ、ＴｉＣ、Ｔｉ（Ｃ．Ｎ）薄膜的工艺，并获得了良好膜层的最佳工艺。
【机 构】
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沈阳工业学院材料工程系,北京长征科技信息研究所,首都航天机械公司波纹管厂
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在Ｔｉ和Ｔｉ合金表面镀上一层薄膜以提高它的硬度、耐磨性及耐蚀性等是很有意义的。研究了用激光化学汽相沉积的方法在Ｔｉ和Ｔｉ－６Ａｌ－４Ｖ基体材料上沉积ＴｉＮ、ＴｉＣ、Ｔｉ（Ｃ．Ｎ）薄膜的工艺，并获得了良好膜层的最佳工艺。在低压下用激光化学汽相沉积（ＬＣＶＤ）方法制备成功的ＴｉＮ类薄膜颜色金黄，成份均匀，其平均显微硬度为２５００ＨＫ，耐磨性比基体材料提高６倍。
Plating a thin film on the Ti and Ti alloy surfaces to increase its hardness, abrasion resistance and corrosion resistance makes sense. The process of depositing TiN, TiC and Ti (C.N) thin films on Ti and Ti-6Al-4V substrates by laser chemical vapor deposition was studied and the best process of good film layer was obtained. The successful TiN film prepared by laser chemical vapor deposition (LCVD) method at low pressure has a golden color and uniform composition with an average microhardness of 2500HK and a wear resistance of 6 times higher than that of the base material.
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