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微型磁通门传感器研究的现状与未来发展
微型磁通门传感器研究的现状与未来发展
来源 :遥测遥控 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mem12345
【摘 要】
:
叙述微型磁通门传感器研究的现状 ,介绍微型磁通门传感器的结构和加工工艺 ,比较不同类型微型磁通门的差异 ,探讨微型磁通门传感器研究的发展方向
【作 者】
:
张雅茹
兰慕杰
王东红
【机 构】
:
哈尔滨工业大学电子科学与技术系,哈尔滨工业大学电子科学与技术系哈尔滨100051,哈尔滨100051,哈尔滨100051
【出 处】
:
遥测遥控
【发表日期】
:
2002年04期
【关键词】
:
微型磁通门
传感器
MEMS
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叙述微型磁通门传感器研究的现状 ,介绍微型磁通门传感器的结构和加工工艺 ,比较不同类型微型磁通门的差异 ,探讨微型磁通门传感器研究的发展方向
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