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超纯水制备系统氮封装置的改进
超纯水制备系统氮封装置的改进
来源 :净水技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zyff1985
【摘 要】
:
针对超纯水装置中的氮封水箱消耗氮气过大的问题,分析了几种节省氮气的方法的优劣,提出了一种解决问题的氮封装置.
【作 者】
:
唐伟明
【机 构】
:
中国电子科技集团第五十五研究所
【出 处】
:
净水技术
【发表日期】
:
2006年4期
【关键词】
:
超纯水装置
氮封水箱
氮封装置
ultra-pure water equipment nitrogen-sealed water tank nitrogen-s
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针对超纯水装置中的氮封水箱消耗氮气过大的问题,分析了几种节省氮气的方法的优劣,提出了一种解决问题的氮封装置.
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