超高真空直接比较校准装置

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本文主要介绍适应加速器的全金属超高真空直接比较校准装置。该装置采用比对法校准,选用性能比较稳定的磁悬浮转子粘滞规作为一级传递标准。在装置的设计、工艺处理等方面具有独到之处,从而获得较好的极限真空和校准结果。 This article describes the adaptive accelerator all-metal ultra-high vacuum direct comparison and calibration device. The device uses the comparison method of calibration, the use of relatively stable performance of magnetic levitation rotor viscosity gauge as a standard transmission. In the device design, process and other aspects of the unique, in order to obtain a better ultimate vacuum and calibration results.
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