In situ Measurement of YBa_2 Cu_3O_(7-δ) Film Thickness and Growth Temperature by Pyrome

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【摘要】

：

ＩｎｓｉｔｕＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δＦｉｌｍＴｈｉｃｋｎｅｓａｎｄＧｒｏｗｔｈＴｅｍｐｅｒａｔｕｒｅｂｙＰｙｒｏｍｅｔｒｉｃＡｂｓｏｒｐｔｉｏｎＭｅｔｈｏｄＸ．Ｍ．ＸｉｏｎｇＹ．Ｌ．ＺｈｏｕＨ．Ｓ．ＷａｎｇＤ．Ｆ．ＣｕｉＨ．Ｂ... InsituMeasurementofYBa2Cu3O7-δFilmThicknes and GrowthTemperaturebyPyrometricAbsorptionMethodX. M. XiongY. L. ZhouH. S. WangD.

【出处】

：

电子显微学报

【发表日期】

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1997年04期

【关键词】

：

Absorption Cu_3O Film Growth In Measurement Method Pyrometric Temperature Thickn

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