【摘 要】
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本文简述了(30+60)kW立式单室真空离子炉的结构与性能。由于采用了双电源、三段独立控温,以及合理的阴极结构,可以充分保证工件温度均匀、处理过程的稳定和可调。通过试验,还
【机 构】
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本文简述了(30+60)kW立式单室真空离子炉的结构与性能。由于采用了双电源、三段独立控温,以及合理的阴极结构,可以充分保证工件温度均匀、处理过程的稳定和可调。通过试验,还对采用双电源的功率配比、工件与炉膛温差的控制范围,以及阴极的结构,提出了参考数据。
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