【摘 要】
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单光子雪崩光电探测器(SPAD)具有雪崩增益大、响应速度快、探测效率高、易于集成的特点。SPAD阵列器件可进行弱光三维成像,在生物化学、量子通信、激光雷达等领域具有重要应
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室; 中国科学院大学材料科学与光电技术学院;
【基金项目】
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国家重点研发计划（2016YFB0402404）;国家自然科学基金（61774152）
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单光子雪崩光电探测器(SPAD)具有雪崩增益大、响应速度快、探测效率高、易于集成的特点。SPAD阵列器件可进行弱光三维成像,在生物化学、量子通信、激光雷达等领域具有重要应用。因此开展SPAD器件及阵列探测技术的研究具有非常重要的意义。给出了近红外InGaAs/InP SPAD单元工作原理和阵列结构性能,对暗计数率、探测效率、后脉冲等主要影响因素和器件优化方向进行总结,概述了近年来SPAD阵列器件的主要技术方案,给出了串扰来源和消除方法,并对相关研究单位的技术与结果进行对比。
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