基片粗糙度对类石墨复合膜形貌和结构的影响

来源 :热加工工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ericxinstar

【摘要】

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使用非平衡闭合磁控溅射技术制备了类石墨复合镀层,采用SEM、AFM观察了不同渗碳淬火基片不同表面状态类石墨复合膜表面和断口形貌,采用XRD分析了镀层的相结构。结果表明：渗碳

【作者】

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【机构】

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海装驻西安地区军事代表室,中国船舶重工集团公司第十二研究所,乌鲁木齐石油设备安装公司

【出处】

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热加工工艺

【发表日期】

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2009年14期

【关键词】

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使用非平衡闭合磁控溅射技术制备了类石墨复合镀层,采用SEM、AFM观察了不同渗碳淬火基片不同表面状态类石墨复合膜表面和断口形貌,采用XRD分析了镀层的相结构。结果表明：渗碳淬火基片粗糙度对类石墨复合膜的形貌、结构和摩擦学性能有明显影响。

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