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采用工艺调查与现场监测相结合的方法,研究了半导体行业废气排放中VOCs的种类和排放水平。结果表明,共检测出26种有机物,其中以异丙醇排放量最大。采用排放系数法估算了该行业VOCs2004年的排放量和2010年的预期排放量,并提出了加强和完善排放标准控制以及清洁生产等控制措施的建议。
半导体行业挥发性有机物(VOCs)排放特征研究
【摘 要】
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采用工艺调查与现场监测相结合的方法,研究了半导体行业废气排放中VOCs的种类和排放水平。结果表明,共检测出26种有机物,其中以异丙醇排放量最大。采用排放系数法估算了该行
【机 构】
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上海市环境监测中心,华东理工大学
【出 处】
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环境科学与管理
【发表日期】
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2007年10期
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