电子束能量、剂量对固化厚度影响的研究

来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cynthializzu

【摘要】

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在电子束液态曝光技术的可行性已被证实的基础上,采用理论和实验相结合的方法,就电子束能量和剂量对固化深度的影响进行了研究,以TMPTA和环氧618两种液体低聚物为抗蚀剂,得出

【作者】

：

卢文娟张玉林孔祥东

【机构】

：

山东大学,东营职业学院

【出处】

：

微细加工技术

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

电子束抗蚀剂能量剂量 electron beam resist energy dose

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在电子束液态曝光技术的可行性已被证实的基础上,采用理论和实验相结合的方法,就电子束能量和剂量对固化深度的影响进行了研究,以TMPTA和环氧618两种液体低聚物为抗蚀剂,得出了不同能量、不同剂量下的有效穿透深度曲线,以及两种抗蚀剂在能量为25 keV的电子束辐射下的临界剂量,固化出了十字形微结构.

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