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铜/钴纳米多层膜的电化学制备及表征
铜/钴纳米多层膜的电化学制备及表征
来源 :电镀与涂饰 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chicagousa
【摘 要】
:
纳米金属多层膜由于其巨磁电阻性能而受到人们的重视.采用双脉冲控电位技术在单晶硅上沉积铜/钴纳米多层膜.测量了电沉积过程中的阴极极化曲线及电流-时间曲线,确定了沉积电
【作 者】
:
赵瑾
董大为
张卫国
姚素薇
【机 构】
:
天津大学化工学院
【出 处】
:
电镀与涂饰
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
铜/钴
纳米金属多层膜
电沉积
【基金项目】
:
国家自然科学基金;
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纳米金属多层膜由于其巨磁电阻性能而受到人们的重视.采用双脉冲控电位技术在单晶硅上沉积铜/钴纳米多层膜.测量了电沉积过程中的阴极极化曲线及电流-时间曲线,确定了沉积电位;利用扫描电子显微技术及X射线衍射技术观察了沉积层的断面形貌及晶体结构.结果表明,沉积层结构清晰、连续,各子层厚度均匀.
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