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介绍了APCVD法制备ZnO基TCO薄膜的发展过程,总结了APCVD工艺设备及参数对ZnO基TCO薄膜性能的影响。展望了APCVD法结合浮法玻璃生产工艺在线生产ZnO基TCO薄膜的产业化应用前景。
APCVD法制备ZnO基TCO薄膜的研究进展
【摘 要】
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介绍了APCVD法制备ZnO基TCO薄膜的发展过程,总结了APCVD工艺设备及参数对ZnO基TCO薄膜性能的影响。展望了APCVD法结合浮法玻璃生产工艺在线生产ZnO基TCO薄膜的产业化应用前景
【机 构】
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河北联合大学材料学院
【出 处】
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河北理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2011年2期
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