【摘 要】
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本文概述了二极溅射、三极或四极溅射、磁控溅射、对向耙溅射、射频溅射、偏压溅射、非对称交流溅射、离子束溅射、吸气溅射、反应溅射等各种溅射镀膜方法和原理,以及技术特
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本文概述了二极溅射、三极或四极溅射、磁控溅射、对向耙溅射、射频溅射、偏压溅射、非对称交流溅射、离子束溅射、吸气溅射、反应溅射等各种溅射镀膜方法和原理,以及技术特点和应用。
This article provides an overview of two-phase sputtering, three-pole or four-pole sputtering, magnetron sputtering, opposed-rake sputtering, radio frequency sputtering, bias sputtering, asymmetric AC sputtering, ion beam sputtering, Sputtering, reactive sputtering and other sputtering coating methods and principles, as well as technical characteristics and applications.
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