【摘 要】
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０．８—１微米分步重复投影光刻机问世由中国科学院成都光电所承担的国家“八五”重点攻关项目─—０．８—１微米分步重复投影光刻机已通过由电子部主持的国家级验收。验收小组专家一致认为
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０．８—１微米分步重复投影光刻机问世由中国科学院成都光电所承担的国家“八五”重点攻关项目─—０．８—１微米分步重复投影光刻机已通过由电子部主持的国家级验收。验收小组专家一致认为：该光刻机主要技术指标达到攻关合同要求，工作分辨率达０．８微米，整机性能指...
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