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【摘 要】
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相变存储器作为下一代具有竞争力的新型存储器,其基础和核心是相变存储介质。为了制备基于VO_2薄膜的非易失性相变存储器,首先采用等离子体增强化学气相沉积法在氟掺杂二氧化
【机 构】
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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海市现代光学系统重点实验室,
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2017年05期
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