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随着微细加工工艺和计算机技术的发展,二元光学元件的特征尺寸进一步减小.本文对dammann光栅的基础知识进行了一次介绍,并推导出了标量衍射效率,包括其解析式的通用方法,并详述了二元光学元件的常用制作工艺技术.
二元光学元件制造初探
【摘 要】
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随着微细加工工艺和计算机技术的发展,二元光学元件的特征尺寸进一步减小.本文对dammann光栅的基础知识进行了一次介绍,并推导出了标量衍射效率,包括其解析式的通用方法,并详
【机 构】
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装备指挥技术学院基础部大学生一队
【出 处】
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科技风
【发表日期】
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2009年11期
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