【摘 要】
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本文介绍了掺氮吸气剂蒸散后钡膜分布的测试装置、测试原理、测试步骤、测试结果和所得数据的处理方法。并对设备与材料的要求,Ba标准系列曲线的绘制,吸气剂蒸散条件的选择等
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本文介绍了掺氮吸气剂蒸散后钡膜分布的测试装置、测试原理、测试步骤、测试结果和所得数据的处理方法。并对设备与材料的要求,Ba标准系列曲线的绘制,吸气剂蒸散条件的选择等进行了讨论。
This paper introduces the test equipment, test principle, test procedure, test results and the processing method of the obtained data after the nitrogen-doped getter evaporates the distribution of the barium membrane. The requirements of equipment and materials, the drawing of Ba standard series of curves, the selection of getter evaporative conditions and so on are also discussed.
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