用表面声波装置测量气体流速

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1.概述最近几年,在物理、化学传感器中,广泛采用表面声波(SAW)技术的趋势不断增加。虽然,表面声波传感器要比场效应晶体管传感器、光学传感器以及电阻/电容调制型传感器出现得晚,但是当真正了解了表面声波传感器 1. Overview In recent years, there has been a growing trend toward the widespread adoption of surface acoustic wave (SAW) technology in physical and chemical sensors. Although surface acoustic wave sensors appear later than field-effect transistor sensors, optical sensors, and resistive / capacitive modulation sensors, when you really understand the surface acoustic wave sensor
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