【摘 要】
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用PECVD法在Si衬底上沉积了纳米硅(nc-Si:H)薄膜,其室温暗电导可达10-3~10-1Ω-1cm-1,高于本征单晶硅的电导,将其制成遂道二极管,其I-V曲线在77K呈现出量子台阶,对这一新颖物理现象进行了定性解释.
The nanocrystalline
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用PECVD法在Si衬底上沉积了纳米硅(nc-Si:H)薄膜,其室温暗电导可达10-3~10-1Ω-1cm-1,高于本征单晶硅的电导,将其制成遂道二极管,其I-V曲线在77K呈现出量子台阶,对这一新颖物理现象进行了定性解释.
The nanocrystalline silicon (nc-Si: H) thin films deposited on Si substrate by PECVD have a dark conductivity of 10-3 ~ 10-1Ω-1cm-1 at room temperature, which is higher than that of intrinsic single-crystal silicon It is made of tunnel diode, the I-V curve shows a quantum step at 77K, a qualitative interpretation of this new physical phenomenon.
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