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红外焦平面杜瓦排气残余气体分析实验研究
红外焦平面杜瓦排气残余气体分析实验研究
来源 :红外技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:benmanw
【摘 要】
:
实验研究用四极质谱仪对金属杜瓦排气进行长期动态监测,跟踪内部主要气体成分的分压强的大小变化,得出排气工艺对杜瓦内表面放气量大小的影响,介绍了实验的原理、装置、方法
【作 者】
:
葛树萍
朱颖峰
【机 构】
:
昆明物理研究所,云南大学物理系
【出 处】
:
红外技术
【发表日期】
:
2006年5期
【关键词】
:
杜瓦
排气
残气成分
Dewar
Exhausting
Components of Residual Gases
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实验研究用四极质谱仪对金属杜瓦排气进行长期动态监测,跟踪内部主要气体成分的分压强的大小变化,得出排气工艺对杜瓦内表面放气量大小的影响,介绍了实验的原理、装置、方法、数据和干扰因素,对影响杜瓦真空度的主要气体成分进行了初步研究,提出改进杜瓦排气工艺的可能方向,对工艺处理具有实际意义.
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