【摘 要】
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探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法。作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序——WI系统,用于工艺的指导和记录、
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探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法。作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序——WI系统,用于工艺的指导和记录、生产的安排和监控以及数据的记录和提取。利用SPC方法对由WI提取的数据进行统计分析处理,做出控制图,对各种工艺异常进行分析判断进而做出工艺调整,以实现有效的工艺监控,逐步提高工艺加工能力和稳定性。该生产控制方法的应用为工艺线产品的研制和生产提供了有力保证。
Discusses the development and application of CAM technology and SPC control method in the production line of many kinds of small batch semiconductors. The authors and colleagues developed the CAM software system program - the WI system - for process line guidance and process documentation, production scheduling and monitoring, and data logging and retrieval. Using SPC method, the data extracted by WI were analyzed statistically, and the control charts were made. The abnormalities of various processes were analyzed and judged to adjust the process so as to realize effective process monitoring and gradually improve the processing ability and stability of the process. The application of this method of production control provides a powerful guarantee for the research and production of the product line of technology.
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